傳統頻譜技術的基本變化明顯提高, 工作條件得到提高, 效率提高, 使用方便, 檢測速度快, 靈敏度高, 響應時間快, 分辨率高, ICP光譜儀的測量結果可直接從顯示器或打印機, 繪圖儀輸出讀寫器。目前廣泛應用于幾乎所有的頻譜測量、分析和研究, 特別適用于微弱信號、瞬態信號的檢測工作。ICP光譜儀還可以作為原子轉化器，如中空陰極燈作為光源,ICP作為原子霧化器的原子熒光光譜儀。此類儀器不使用以 ICP 為中心的單色儀,即安裝多個檢測設備(每個元件和檢測設備),形成多元素分析系統。ICP作為霧化器的主要優點是霧化器具有高溫,一些元件可以很好地霧化,擴散問題已經克服。

       由于高溫等離子體來源異常，ICP光譜儀一般分析方法避免了化學干擾和基板干擾，低于其他光譜分析方法。等離子火焰的溫度高于一般化學火焰，使化學火焰的基本霧化和激發難以喚醒，從而有助于確定困難元素。此外，耐火金屬氧化物不易在大氣中產生，因此陣列元素和共存的影響將不那么明顯。即使是吸水電感耦合燈也非常低，校正曲線的線性范圍可以達到5-6的水平，在大多數情況下，元件的濃度和測量信號是簡單和線性的。因此，在許多情況下，校準解決方案可以手動準備。某些條件可以嚴格降低參考樣品的困難，一般不能使用內部標準方法。